تظهر التجارب أن طور ألفا يتغير إلى طور بيتا إلى هيكل مستقر عندما تكون درجة الحرارة أعلى من 1300 درجة مئوية. كان لنوع المواد المضافة تأثير على انتقال طور ألفا إلى بيتا لـ SI3N4، وكان تأثير Y2O3 على انتقال الطور هو الأكثر بديهي.

ينتمي مسحوق نيتريد السيليكون ألفا إلى مركبات حرارية ذات درجة حرارة عالية، بدون نقطة انصهار، درجة حرارة استخدام SI3N4 لا تزيد بشكل عام عن 1300 درجة مئوية.

بخلاف حمض الهيدروفلوريك، لن يتآكل نيتريد السيليكون بواسطة الأحماض والقواعد العامة الأخرى.