Το Si3N4 είναι ένας νέος τύπος κεραμικού υλικού υψηλής θερμοκρασίας με εξαιρετικές χημικές ιδιότητες, καλή αντοχή σε θερμικές κρούσεις, ερπυσμός σε χαμηλή θερμοκρασία, μη διαβροχή σε ποικιλία τήγματος μη σιδηρούχων μετάλλων, υψηλή σκληρότητα, αυτολίπανση, έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως σε κοπτικά εργαλεία, μεταλλουργία, αεροπορία, χημικές και άλλες βιομηχανίες.

Το νιτρίδιο του πυριτίου μπορεί επίσης να εφαρμοστεί σε ηλιακά κύτταρα λεπτής μεμβράνης.Αφού το φιλμ νιτριδίου πυριτίου επιστρωθεί με τη μέθοδο PECVD, όχι μόνο μπορεί να μειωθεί η ανάκλαση του προσπίπτοντος φωτός, αλλά επίσης, στη διαδικασία εναπόθεσης του φιλμ νιτριδίου πυριτίου, τα άτομα υδρογόνου του προϊόντος αντίδρασης εισέρχονται στο φιλμ νιτριδίου του πυριτίου και Γκοφρέτα πυριτίου για παθητικοποίηση Ο ρόλος των ελαττωμάτων.