Si3N4 es un nuevo tipo de material cerámico de estructura de alta temperatura con excelentes propiedades químicas, buena resistencia al choque térmico, fluencia a baja temperatura, no humectante para una variedad de metales no ferrosos fundidos, alta dureza, autolubricación, se ha utilizado ampliamente en herramientas de corte, metalurgia, aviación, química y otras industrias.

El nitruro de silicio también se puede aplicar a células solares de película delgada. Después de recubrir la película de nitruro de silicio mediante el método PECVD, no sólo se puede reducir el reflejo de la luz incidente, sino que también, en el proceso de deposición de la película de nitruro de silicio, los átomos de hidrógeno del producto de reacción entran en la película de nitruro de silicio y la Oblea de silicio para pasivar El papel de los defectos.