Los experimentos muestran que la fase alfa cambia a fase beta a una estructura estable cuando la temperatura es superior a 1300 ℃. El tipo de aditivos tuvo una influencia en la transición de fase alfa a beta de SI3N4, y el efecto de Y2O3 en la transición de fase fue el más obvio.

La cerámica en polvo de nitruro de silicio alfa pertenece a los compuestos refractarios de alta temperatura, sin punto de fusión, la temperatura de uso de SI3N4 generalmente no supera los 1300 ° C.

Aparte del ácido fluorhídrico, el nitruro de silicio no se corroe con otros ácidos y bases generales.