Si3N4 est un nouveau type de matériau céramique à structure haute température avec d'excellentes propriétés chimiques, une bonne résistance aux chocs thermiques, un fluage à basse température, non mouillant pour une variété de métaux non ferreux fondus, une dureté élevée, une autolubrification, a été largement utilisé dans outils de coupe, métallurgie, aviation, chimie et autres industries.

Le nitrure de silicium peut également être appliqué aux cellules solaires à couches minces.Une fois le film de nitrure de silicium plaqué par la méthode PECVD, non seulement la réflexion de la lumière incidente peut être réduite, mais également, dans le processus de dépôt du film de nitrure de silicium, les atomes d'hydrogène du produit de réaction pénètrent dans le film de nitrure de silicium et le plaquette de silicium à passiver Le rôle des défauts.