SI3N4 è un nuovo tipo di materiale ceramico a struttura ad alta temperatura con eccellenti proprietà chimiche, una buona resistenza agli shock termici, creep a bassa temperatura, non bagnanti per una varietà di fusione di metallo non ferrosa, alta durezza, auto-lubrificazione, è stato ampiamente utilizzato negli utensili da taglio, nella metallugia, nella aviazione, nell'impugnatura chimica e in altre industrie.

Il nitruro di silicio può anche essere applicato a celle solari a film sottile. Dopo che il film di nitruro di silicio è stato placcato dal metodo PECVD, non solo il riflesso della luce incidente può essere ridotto, ma anche nel processo di deposizione del film di nitruro di silicio, gli atomi di idrogeno del prodotto di reazione entrano nel film di nitruro di silicio e nel wafer di silicio per passivare il ruolo dei difetti.