Come tipico rappresentante dei nanomateriali unidimensionali, i nanofili di silicio non solo hanno le proprietà speciali dei semiconduttori, ma mostrano anche diverse proprietà fisiche come l'emissione di campo, la conduttività termica e la fotoluminescenza visibile che sono diverse dai materiali di silicio sfusi. Sono utilizzati nei dispositivi nanoelettronici e nell'optoelettronica. I dispositivi e le nuove fonti energetiche hanno un enorme potenziale di valore applicativo. Ancora più importante, i nanofili di silicio hanno un’eccellente compatibilità con le tecnologie del silicio esistenti e quindi hanno un grande potenziale di applicazione sul mercato. Pertanto, i nanofili di silicio rappresentano un nuovo materiale con un grande potenziale di applicazione nel campo dei nanomateriali unidimensionali.

I nanofili di silicio presentano molti vantaggi come rispetto dell'ambiente, biocompatibilità, facile modifica della superficie e compatibilità con l'industria dei semiconduttori.

I nanofili di silicio sono materiali importanti per i biosensori a semiconduttore. Essendo un'importante classe di nanomateriali semiconduttori unidimensionali, i nanofili di silicio hanno proprietà ottiche uniche come fluorescenza e ultravioletto, proprietà elettriche come emissione di campo, trasporto di elettroni, conduzione termica, elevata attività superficiale ed effetti di confinamento quantistico. I nanodispositivi come i transistor ad effetto di campo ad alte prestazioni, i rilevatori di singolo elettrone e i dispositivi di visualizzazione delle emissioni di campo hanno buone prospettive di applicazione.
I nanofili di silicio sono stati ampiamente studiati anche per applicazioni nelle batterie agli ioni di litio, nel settore termoelettrico, nel fotovoltaico, nelle batterie a nanofili e nella memoria non volatile.