Gli esperimenti mostrano che la fase alfa cambia in fase beta in struttura stabile quando la temperatura è superiore a 1300 ℃. Il tipo di additivi ha avuto un'influenza sulla transizione di fase da alfa a beta di SI3N4 e l'effetto di Y2O3 sulla transizione di fase è stato il più ovvio.

La ceramica in polvere di nitruro di silicio alfa appartiene ai composti refrattari ad alta temperatura, senza punto di fusione, SI3N4 utilizzando la temperatura non è generalmente superiore a 1300 ° C.

Oltre all'acido fluoridrico, il nitruro di silicio non sarà corroso da altri acidi e basi generali.