Gli esperimenti mostrano che la fase alfa cambia in fase beta in una struttura stabile quando la temperatura è superiore a 1300 ℃. Il tipo di additivi ha avuto un'influenza sulla transizione di fase da alfa a beta di SI3N4 e l'effetto di Y2O3 sulla transizione di fase è stato il più ovvio.

La ceramica in polvere di nitruro di silicio alfa appartiene ai composti refrattari ad alta temperatura, senza punto di fusione, la temperatura di utilizzo di SI3N4 generalmente non è superiore a 1300 ° C.

A parte l'acido fluoridrico, il nitruro di silicio non verrà corroso da altri acidi e basi generali.