Gli esperimenti mostrano che la fase alfa cambia nella fase beta alla struttura stabile quando la temperatura è superiore a 1300 ℃. Il tipo di additivi ha avuto un'influenza sulla transizione alfa a fase beta di SI3N4 e l'effetto di Y2O3 sulla transizione di fase è stato il più ovvio.

La ceramica di polvere di nitruro di alfa silicio appartiene ai composti refrattari ad alta temperatura, senza punto di fusione, SI3N4 usando la temperatura non è generalmente più di 1300 ° C.

Oltre all'acido idrofluorico, il nitruro di silicio non sarà corroso da altri acidi e basi generali.