លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃម្សៅនីកែលណាណូ៖
ទំហំភាគល្អិត៖ 20nm, 40nm, 70nm, 100nm
ទំហំផ្សេងទៀត: មីក្រូ, 1-3um
ភាពបរិសុទ្ធ៖ 99%-99.9%
ការប្រើប្រាស់ម្សៅនីកែលណាណូ៖
1. កាតាលីករដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដោយសារតែវាមានផ្ទៃធំ និងកាតាលីករក្តៅ។
2. ភាគល្អិតណាណូនីកែលអាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពកាតាលីករក្នុងប្រតិកម្មអ៊ីដ្រូសែនសរីរាង្គ។
3. ជំនួសលោហៈផ្លាទីន និងរ៉ូដ្យូម ដើម្បីសម្អាតបំពង់ផ្សែងរថយន្តអាចកាត់បន្ថយការចំណាយយ៉ាងច្រើន។