លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃភាគល្អិតណាណូមាស៖
MF: អូ
ទំហំភាគល្អិត: 20-30nm, លៃតម្រូវបានពី 20nm-1um
ភាពបរិសុទ្ធ: 99.99%,
ទ្រព្យសម្បត្តិ៖
1. ភាគល្អិតណាណូមាសគឺជាលោហៈទន់ រលោង និងអាចបត់បែនបានច្រើនបំផុត ហើយជាធម្មតាវាត្រូវបានផ្សំឡើងដើម្បីផ្តល់ភាពប្រសើរឡើង និងភាពធន់។ការឆ្លុះបញ្ចាំងរបស់មាសនៃកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេ និងកាំរស្មីដែលមើលឃើញមានកម្រិតទាប ទោះជាយ៉ាងណាវាមានការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់នៃរលកពន្លឺអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ និងពណ៌ក្រហម។
2. ភាគល្អិតមាសណាណូគឺជាចំហាយកំដៅ និងអគ្គិសនីដ៏ល្អ ហើយមិនប៉ះពាល់ដោយខ្យល់ នីទ្រីក អ៊ីដ្រូក្លរ ឬអាស៊ីតស៊ុលហ្វួរិក និងសារធាតុប្រតិកម្មផ្សេងទៀតភាគច្រើន។
ការអនុវត្តភាគល្អិតណាណូមាស៖
1. ភាគល្អិតណាណូមាសត្រូវបានប្រើសម្រាប់ថ្នាំកូតការពារវិទ្យុសកម្មសម្រាប់យានអវកាស។
2. សម្រាប់បំពង់អេឡិកត្រូនិក ជាខ្សែក្រឡាចត្រង្គដែលស្រោបមាស ដើម្បីផ្តល់ចរន្តខ្ពស់ និងទប់ស្កាត់ការបំភាយឧស្ម័នបន្ទាប់បន្សំ។
3. ម្សៅណាណូមាស និងសន្លឹកមាសត្រូវបានប្រើប្រាស់សម្រាប់ការផ្សារដែក semiconductors ដោយមាសមានសមត្ថភាពល្អក្នុងការសើមស៊ីលីកូននៅ 371°C (725°F)
4. ម្សៅមាសក៏ត្រូវបានគេប្រើជាសម្ភារៈសម្រាប់ដាក់ចានផងដែរ ដែលសូដ្យូមមាសស៊ីយ៉ានតត្រូវបានប្រើជាដំណោះស្រាយសម្រាប់លាបពណ៌មាស។បន្ទះមានធន់នឹងសារធាតុគីមី និងលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីល្អ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ បន្ទះចាននេះខ្វះភាពធន់នឹងការពាក់ ក្នុងករណីនេះ ចានមាស-ឥណ្ឌា ត្រូវបានប្រើប្រាស់។