ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ:
ລະຫັດ | L560 |
ຊື່ | ຜົງ Silicon Nitride |
ສູດ | Si3N4 |
CAS No. | 12033-89-5 |
ຂະໜາດອະນຸພາກ | 0.3-0.5um |
ຄວາມບໍລິສຸດ | 99.9% ຫຼື 99.99% |
ປະເພດ Crystal | ອັນຟາ |
ຮູບລັກສະນະ | ຜົງຂາວ |
ຊຸດ | 1 ກິໂລຫຼືຕາມຄວາມຕ້ອງການ |
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີທ່າແຮງ | ໃຊ້ເປັນຕົວປ່ອຍ mold ສໍາລັບຊິລິໂຄນ polycrystalline ແລະດຽວ crystal silicon quartz crucible; ໃຊ້ເປັນວັດສະດຸ refractory ຂັ້ນສູງ; ໃຊ້ໃນແຜ່ນບາງໆແສງຕາເວັນ; ແລະອື່ນໆ |
ລາຍລະອຽດ:
Si3N4 ເປັນປະເພດໃຫມ່ຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກໂຄງສ້າງອຸນຫະພູມສູງທີ່ມີຄຸນສົມບັດທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ, ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, creep ອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ບໍ່ wetting ກັບຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງໂລຫະທີ່ບໍ່ແມ່ນເຫຼັກ melt, ຄວາມແຂງສູງ, ນ້ໍາຕົນເອງ, ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ. ເຄື່ອງມືຕັດ, ໂລຫະ, ການບິນ, ເຄມີແລະອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆ.
ຊິລິໂຄນ nitride ຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ກັບຈຸລັງແສງຕາເວັນບາງໆ. ຫຼັງຈາກທີ່ແຜ່ນ silicon nitride ໄດ້ຖືກ plated ໂດຍວິທີການ PECVD, ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດສະທ້ອນແສງຂອງເຫດການໄດ້ຫຼຸດລົງ, ແຕ່ຍັງ, ໃນຂະບວນການ deposition ຂອງແຜ່ນ silicon nitride, ປະລໍາມະນູ hydrogen ຂອງຜະລິດຕະພັນຕິກິຣິຍາເຂົ້າໄປໃນແຜ່ນ silicon nitride ແລະ. wafer silicon ກັບ passivate ພາລະບົດບາດຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ.
ເງື່ອນໄຂການເກັບຮັກສາ:
ຜົງ Silicon Nitride ຄວນຖືກເກັບໄວ້ໃນບ່ອນຜະນຶກ, ຫຼີກເວັ້ນບ່ອນທີ່ມີແສງສະຫວ່າງ, ແຫ້ງ. ການເກັບຮັກສາອຸນຫະພູມຫ້ອງແມ່ນເຫມາະສົມ.
SEM: