He aha te mea ka taea te whakamahi i te paura nano silicon dioxide mo te CMP?

Ko te Nano-silica he iti te utu, he pai te whakamararatanga, te abrasion miihini, te kaha nui me te piri, te pai o te hanga kiriata, te uruhanga teitei, te rangi teitei me te kakahu parenga, te rahi matūriki iti, te pakeke.Kei a ia ano nga painga o te ngawari, te iti o te viscosity, te iti o te piri, me te horoi ngawari i muri i te whakakoi.No reira he rauemi whakakorikori mo te hangarau CMP me te pai o te mahi.

He maha nga wa e whakamahia ana te matūriki nano SiO2 mo te whakakorikori tika o te whakarewa, te hapaira, te silicon monocrystalline, te karaehe-ceramic, te ngongo arataki marama me etahi atu papanga.Ko te rahi o te nano silicon oxide kei raro iho i te 100nm, he nui te waahanga mata motuhake, he nui te whakamararatanga me te uruhanga, na reira he iti rawa te paparanga kino i runga i te mata o te mea mahi kua orohia;i tua atu, ko te pakeke o te silica nanoparticle he rite ki tera o te silicon wafers.Na reira, ka whakamahia ano hoki mo te whakakoi i nga angiangi silicon semiconductor.

Ko nga painga o te paura nano SiO2 i roto i te tono CMP:

1. Ko te whakakoi ko te whakamahi i nga nanoparticles rite o SiO2 me etahi atu mea, e kore e kino te tinana ki nga waahanga tukatuka, me te tere tere.Ko te whakamahinga o nga matūriki penei i te colloidal silica me te kakahu me te rahi o te matūriki nui ka taea te whakatutuki i te kaupapa o te whakakoi tere.

2. Kaore e pakaru nga taputapu me te tino mahi haumaru.

3. Te whakatutuki i te tukatuka oro oro.

4. He pai te whakaiti i nga karawarawa o te mata i muri i te whakakoi me te whakaiti i te taratara o te mata i muri i te whakakorikori.