Цахиурын давхар ислийн нано нунтагыг яагаад CMP-д ашиглаж болох вэ?

Нано-цахиур нь харьцангуй бага өртөгтэй, сайн тархах чадвартай, механик үрэлттэй, өндөр бат бэх наалддаг, сайн хальс үүсгэдэг, өндөр нэвчилттэй, цаг агаарын болон элэгдэлд тэсвэртэй, жижиг ширхэгтэй, хатуулагтай.Мөн дунд зэргийн, зуурамтгай чанар багатай, наалдац багатай, өнгөлгөөний дараа цэвэрлэхэд хялбар давуу талтай.Тиймээс энэ нь маш сайн гүйцэтгэлтэй CMP технологийн өнгөлгөөний материал юм.

SiO2 нано тоосонцор нь ихэвчлэн металл, индранил, нэг талст цахиур, шилэн керамик, гэрлийн чиглүүлэгч хоолой болон бусад гадаргууг нарийн өнгөлөхөд ашиглагддаг.Нано цахиурын оксидын хэмжээ нь 100 нм-ээс бага бөгөөд энэ нь том гадаргуутай, өндөр тархалт, нэвчилттэй байдаг тул өнгөлсөн бэлдэцийн гадаргуу дээрх гэмтлийн давхарга маш бага байдаг;Үүнээс гадна цахиурын нано бөөмийн хатуулаг нь цахиурын хавтантай төстэй.Тиймээс энэ нь ихэвчлэн хагас дамжуулагч цахиур хавтан өнгөлгөөний ашиглаж байна.

CMP хэрэглээнд нано SiO2 нунтагны давуу талууд:

1. Өнгөлгөө нь SiO2 болон бусад материалын нэгэн жигд нано хэсгүүдийг ашиглан боловсруулсан хэсгүүдэд физик гэмтэл учруулахгүй, хурд нь хурдан байдаг.Нэг төрлийн, том ширхэгтэй коллоид цахиур зэрэг тоосонцорыг ашиглах нь өндөр хурдтай өнгөлгөөний зорилгод хүрч чадна.

2. Тоног төхөөрөмжийг зэврүүлэхгүй, аюулгүй ажиллагааны өндөр үзүүлэлттэй.

3. Өндөр тэгш нунтаглалтын боловсруулалтад хүрэх.

4. Өнгөлгөөний дараа гадаргуугийн зураасыг үр дүнтэй багасгаж, өнгөлсөний дараа гадаргуугийн барзгаржилтыг багасгана.