Дамжуулагч цавуу нь микроэлектроник эд анги, сав баглаа боодлын үйлдвэрлэлд холбоход ашиглаж болох голчлон давирхай ба дамжуулагч дүүргэгч (мөнгө, алт, зэс, никель, цагаан тугалга, хайлш, нүүрстөрөгчийн нунтаг, бал чулуу гэх мэт) агуулсан тусгай цавуу юм. материалыг боловсруулдаг.

Олон төрлийн дамжуулагч цавуу байдаг. Янз бүрийн дамжуулагч хэсгүүдийн дагуу дамжуулагч цавууг металл (алт, мөнгө, зэс, хөнгөн цагаан, цайр, төмөр, никель нунтаг) ба нүүрстөрөгч дээр суурилсан дамжуулагч цавуу гэж хувааж болно. Дээрх дамжуулагч цавуунаас мөнгөн нунтагаар нийлэгжүүлсэн дамжуулагч цавуу нь маш сайн дамжуулалт, наалдамхай, химийн тогтвортой байдал, наалдамхай давхаргад бараг исэлддэггүй, исэлдсэн ч агаар дахь исэлдэлтийн хурд нь маш удаан байдаг. үүссэн мөнгөний исэл нь сайн дамжуулалттай хэвээр байна. Тиймээс зах зээл дээр, ялангуяа найдвартай байдлын өндөр шаардлага бүхий цахилгаан төхөөрөмжүүдэд дамжуулагч дүүргэгч болох мөнгөн нунтаг бүхий дамжуулагч цавууг хамгийн өргөн ашигладаг. Матрицын давирхайг сонгохдоо эпокси давирхай нь идэвхтэй бүлгийн өндөр агууламжтай, өндөр наалдамхай бат бэх, сайн наалддаг, маш сайн механик шинж чанартай, маш сайн холих шинж чанартай тул эхний сонголт болсон.

Хэзээмөнгөний нунтагнь эпокси цавуугаар дамжуулагч дүүргэгч болгон нэмдэг бөгөөд түүний дамжуулагч механизм нь мөнгөний нунтаг хоорондын холбоо юм. Дамжуулагч наалдамхай бодисыг хатааж хатахаас өмнө эпокси цавуунд агуулагдах мөнгөн нунтаг нь бие даан оршин тогтнож, бие биетэйгээ тасралтгүй харьцдаггүй, харин дамжуулагчгүй, тусгаарлагч төлөвт байдаг. Хатаах, хатаасны дараа системийг хатууруулсны үр дүнд мөнгөн нунтагууд хоорондоо гинжин хэлхээний хэлбэрээр холбогдож дамжуулагч сүлжээ үүсгэдэг. Сайн гүйцэтгэлтэй эпокси цавуунд мөнгөн нунтаг нэмсний дараа (хатууруулах бодис ба хатууруулагчийн хэмжээ нь эпокси давирхайн массын 10% ба 7% байна) хатуурсны дараа гүйцэтгэлийг шалгана. Туршилтын өгөгдлөөс харахад дамжуулагч цавуугаар дүүргэх мөнгөний хэмжээ ихсэх тусам эзэлхүүний эсэргүүцэл мэдэгдэхүйц буурдаг. Учир нь мөнгөний нунтаг агууламж хэт бага байвал систем дэх давирхайн хэмжээ нь дамжуулагч дүүргэгч мөнгөний нунтагаас хамаагүй их байдаг ба мөнгөний нунтаг нь үр дүнтэй дамжуулагч сүлжээ үүсгэхийн тулд хүрэлцэхэд хэцүү байдаг тул илүү өндөр эсэргүүцэлтэй байдаг. . Мөнгөний нунтаг дүүргэх хэмжээ ихсэх тусам давирхай багасах нь мөнгөний нунтагны контактыг ихэсгэх бөгөөд энэ нь дамжуулагч сүлжээ үүсэхэд тустай бөгөөд эзэлхүүний эсэргүүцлийг бууруулдаг. Бөглөх хэмжээ 80% байх үед эзэлхүүний эсэргүүцэл нь 0.9×10-4Ω•см байх ба энэ нь сайн дамжуулалттай, FYI.

Мөнгөний нунтагТохируулах ширхэгийн хэмжээ (20нм-10ум), янз бүрийн хэлбэр (бөмбөрцөг, бөмбөрцөг хэлбэртэй, ширхэгтэй) болон нягтрал, SSA гэх мэт тусгай үйлчилгээтэй.

Нэмэлт мэдээлэл авахыг хүсвэл бидэнтэй холбоо барина уу.