သတ်မှတ်ချက်-
ကုဒ် | L560 |
နာမည် | ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်မှုန့် |
ဖော်မြူလာ | Si3N4 |
CAS နံပါတ် | ၁၂၀၃၃-၈၉-၅ |
အမှုန်အရွယ်အစား | 0.3-0.5um |
သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်း။ | 99.9% သို့မဟုတ် 99.99% |
Crystal အမျိုးအစား | အယ်လ်ဖာ |
အသွင်အပြင် | အဖြူရောင်အမှုန့် |
အထုပ် | 1 ကီလိုဂရမ်သို့မဟုတ်လိုအပ်သလို |
အလားအလာရှိသော အသုံးချပရိုဂရမ်များ | polycrystalline silicon နှင့် single crystal silicon quartz crucible အတွက် မှိုထုတ်လွှတ်သည့် အေးဂျင့်အဖြစ် အသုံးပြုသည်။အဆင့်မြင့် သတ္တုဓာတ်အဖြစ် အသုံးပြုသည်။ပါးလွှာသော ဖလင်ဆိုလာဆဲလ်များတွင် အသုံးပြုသည်။စသည်တို့ |
ဖော်ပြချက်-
Si3N4 သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများ၊ ကောင်းသော အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိသော၊ အပူချိန်နိမ့်ကျသော၊ သတ္တုမဟုတ်သော အရည်ပျော်ခြင်းသို့ စိုစွတ်ခြင်းမရှိသော၊ မာကျောမှုမြင့်မားသော၊ ကိုယ်တိုင်ချောဆီအဖြစ် ကျယ်ပြန့်စွာအသုံးပြုသော မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ဆောက်ပုံကြွေထည်ပစ္စည်း အမျိုးအစားသစ်ဖြစ်သည်။ ဖြတ်တောက်ခြင်းကိရိယာများ၊ သတ္တုဗေဒ၊ လေကြောင်း၊ ဓာတုနှင့် အခြားစက်မှုလုပ်ငန်းများ။
ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်ကို ပါးလွှာသောဖလင်ဆိုလာဆဲလ်များတွင်လည်း အသုံးချနိုင်သည်။ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်ဖလင်ကို PECVD နည်းလမ်းဖြင့် စီစဥ်ပြီးနောက်၊ အလင်းပြန်မှု လျော့ပါးစေရုံသာမက ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်ဖလင်၏ အစစ်ခံသည့် လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ တုံ့ပြန်မှုထုတ်ကုန်၏ ဟိုက်ဒရိုဂျင်အက်တမ်များသည် ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်ဖလင်သို့ ဝင်ရောက်ကာ၊ ဆီလီကွန် wafer ကို passivate ရန် အဆိုပါချွတ်ယွင်းချက်များ၏အခန်းကဏ္ဍ။
သိုလှောင်မှုအခြေအနေ-
ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်အမှုန့်ကို အလုံပိတ်၊ အလင်းရောင်၊ ခြောက်သွေ့သောနေရာတွင် ရှောင်ရှားသင့်သည်။အခန်းအပူချိန် သိုလှောင်မှု အဆင်ပြေပါသည်။
SEM :