O SI3N4 é um novo tipo de estrutura de alta temperatura com excelentes propriedades químicas, boa resistência ao choque térmico, fluência de baixa temperatura, não um pouco de umedecimento a uma variedade de fundido de metal não ferrado, alta dureza, auto-lubrificação, tem sido amplamente utilizada em ferramentas de corte, metalurgia, aviação, química e outras indústrias.

O nitreto de silício também pode ser aplicado a células solares de filme fino. Depois que o filme de nitreto de silício é revestido pelo método PECVD, não apenas o reflexo da luz incidente pode ser reduzido, mas também, no processo de deposição do filme de nitreto de silício, os átomos de hidrogênio do produto de reação entram no filme de nitreto de silício e o salmão de silício para passivar o papel dos defeitos.