Si3N4 é um novo tipo de material cerâmico de estrutura de alta temperatura com excelentes propriedades químicas, boa resistência ao choque térmico, fluência de baixa temperatura, não molhável para uma variedade de metais não ferrosos fundidos, alta dureza, autolubrificação, tem sido amplamente utilizado em ferramentas de corte, metalurgia, aviação, química e outras indústrias.

O nitreto de silício também pode ser aplicado a células solares de película fina.Depois que o filme de nitreto de silício é revestido pelo método PECVD, não apenas a reflexão da luz incidente pode ser reduzida, mas também, no processo de deposição do filme de nitreto de silício, os átomos de hidrogênio do produto da reação entram no filme de nitreto de silício e o bolacha de silício para passivar O papel dos defeitos.