Experimentos mostram que a fase alfa muda para fase beta para estrutura estável quando a temperatura está acima de 1300 ℃. O tipo de aditivo teve influência na transição da fase alfa para beta do SI3N4, e o efeito do Y2O3 na transição de fase foi o mais óbvio.

A cerâmica em pó de nitreto de silício alfa pertence aos compostos refratários de alta temperatura, sem ponto de fusão, SI3N4 usando temperatura geralmente não superior a 1300 ° C.

Além do ácido fluorídrico, o nitreto de silício não será corroído por outros ácidos e bases gerais.