Si3N4 представляет собой новый тип керамического материала с высокотемпературной структурой с превосходными химическими свойствами, хорошей термостойкостью, низкотемпературной ползучести, несмачиваемостью различными расплавами цветных металлов, высокой твердостью, самосмазыванием, широко используется в режущий инструмент, металлургия, авиация, химическая и другие отрасли промышленности.

Нитрид кремния также можно применять в тонкопленочных солнечных элементах.После того, как пленка нитрида кремния нанесена методом PECVD, не только может быть уменьшено отражение падающего света, но также в процессе осаждения пленки нитрида кремния атомы водорода продукта реакции входят в пленку нитрида кремния и кремниевая пластина для пассивации Роль дефектов.