Prečo možno nanoprášok oxidu kremičitého použiť na CMP?

Nano-oxid kremičitý má relatívne nízku cenu a dobrú disperzibilitu, mechanickú abráziu, vysokú pevnosť a priľnavosť, dobrú tvorbu filmu, vysokú priepustnosť, vysokú odolnosť voči poveternostným vplyvom a opotrebeniu, malú veľkosť častíc, tvrdosť. Má tiež výhody strednej, nízkej viskozity, nízkej priľnavosti a ľahkého čistenia po leštení. Ide teda o leštiaci materiál pre technológiu CMP s vynikajúcim výkonom.

Nanočastice SiO2 sa často používajú na presné leštenie kovov, zafírov, monokryštalického kremíka, sklokeramiky, svetlovodnej trubice a iných povrchov. Veľkosť nanooxidu kremíka je pod 100 nm, ktorý má veľký špecifický povrch, vysokú disperzibilitu a priepustnosť, takže vrstva poškodenia na povrchu lešteného obrobku je extrémne malá; okrem toho je tvrdosť nanočastíc oxidu kremičitého podobná ako tvrdosť kremíkových plátkov. Preto sa často používa aj na leštenie polovodičových kremíkových doštičiek.

Výhody prášku nano SiO2 v aplikácii CMP:

1. Leštenie je použitie rovnomerných nanočastíc SiO2 a iných materiálov, ktoré nespôsobia fyzické poškodenie spracovávaných dielov a rýchlosť je vysoká. Použitie častíc, ako je koloidný oxid kremičitý s rovnomernou a veľkou veľkosťou častíc, môže dosiahnuť účel vysokorýchlostného leštenia.

2. Nekoroduje zariadenie a má vysoký bezpečnostný výkon.

3. Dosiahnite vysokú rovinnosť brúsenia.

4. Účinne znížte škrabance na povrchu po leštení a znížte drsnosť povrchu po leštení.