1. Përdoret si agjent për çlirimin e mykut për kristalin polikristalor të silikonit dhe kuarcit silikoni me një kristal.Parandaloni ngjitjen e murit të brendshëm të kutisë me materialin e shkrirë të silikonit, lehtësoni çmontimin dhe në të njëjtën kohë veproni si një shtresë penguese për të siguruar pastërtinë e materialit të silikonit.Pluhuri i nitridit të silikonit të shkallës diellore përdoret si një agjent për çlirimin e mykut dhe spërkatet në sipërfaqen e brendshme të kavanozit të shufrës së polisilikonit, i cili është një produkt thelbësor për prodhimin e shufrës polisilikoni.

2. Nitridi i silikonit përdoret si material zjarrdurues i shkallës së lartë.Për shembull, materiali zjarrdurues SI3N4-SIC përdoret në trupin e furrës së shpërthimit dhe pjesë të tjera në bashkëpunim me sic;kur përdoret në kombinim me BN si material SI3N4-BN, përdoret në unazën ndarëse me derdhje të vazhdueshme horizontale.