Чаро хокаи нано диоксиди кремнийро барои CMP истифода бурдан мумкин аст?

Нано-силика дорои арзиши нисбатан паст, паҳншавии хуб, абрешими механикӣ, қувват ва часпак, ташаккули филми хуб, гузариши баланд, муқовимати обу ҳаво ва фарсудашавӣ, андозаи хурди зарраҳо, сахтӣ мебошад.Он инчунин бартариҳои мӯътадил, часпакии паст, часпиши паст ва тозакунии осон пас аз сайқал додан дорад.Ҳамин тариқ, он як маводи сайқалдиҳанда барои технологияи CMP бо иҷрои аъло мебошад.

Заррачаи SiO2 нано аксар вақт барои сайқал додани дақиқи металл, сапфир, кремнийи монокристаллӣ, сафолҳои шишагӣ, найчаи роҳнамои рӯшноӣ ва дигар сатҳҳо истифода мешавад.Андозаи нано оксиди кремний аз 100 нм камтар аст, ки дорои майдони бузурги мушаххас, dispersibility ва гузариши баланд аст, бинобар ин қабати зарар дар рӯи порчаи сайқалёфта хеле хурд аст;гайр аз ин, сахтии нанозаррачаи кремний ба вафли кремний монанд аст.Аз ин рӯ, он инчунин аксар вақт барои сайқал додани вафли кремнийи нимноқилӣ истифода мешавад.

Бартариҳои хокаи nano SiO2 дар барномаи CMP:

1. Polishing истифодаи нанозарраҳои ягонаи SiO2 ва дигар маводҳо мебошад, ки ба қисмҳои коркардшуда зарари ҷисмонӣ намерасонанд ва суръат зуд аст.Истифодаи зарраҳо ба монанди кремнийи коллоидӣ бо андозаи яксон ва калон метавонад ба ҳадафи сайқал додани баландсуръат ноил шавад.

2. Он таҷҳизотро зангзанӣ намекунад ва дорои иҷрои баланди бехатарӣ мебошад.

3. Ба коркарди дастоскунии ҳамворӣ ноил шавед.

4. Пас аз сайқал додани харошиданҳои рӯизаминӣ самаранок кам кунед ва ноҳамвории рӯизаминиро пас аз сайқал додан кам кунед.