ตัวเร่งปฏิกิริยาเคมีและเป็นวัตถุดิบสำคัญในการผลิตตัวต้านทานและตัวเก็บประจุ

หัวใจสำคัญในการเตรียมชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์คือครีมอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งคุณภาพเกี่ยวข้องโดยตรงกับประสิทธิภาพของส่วนประกอบที่เป็นฟิล์มหนา ในฐานะที่เป็นส่วนสำคัญของสารวางอิเล็กทรอนิกส์ ตัวต้านทานวางจะถูกเตรียมเป็นตัวต้านทานที่ใช้ในวงจรฟิล์มหนา ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านการทหาร การบินและอวกาศ การสื่อสาร และยานยนต์
สารวางต้านทานรูทีเนียมไดออกไซด์ (RuO2) เป็นส่วนสำคัญของสารวางต้านทาน

RuO2 มีข้อดีคือมีฤทธิ์ในการเร่งปฏิกิริยาที่ดี คุณสมบัติทางเคมีที่เสถียร ฯลฯ และยังเป็นโลหะออกไซด์ที่มีความนำไฟฟ้าสูงคล้ายโลหะ ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในการเร่งปฏิกิริยาเคมีไฟฟ้า อุตสาหกรรมคลอร์อัลคาไล และวงจรรวม
ตัวต้านทานที่ทำจาก RuO2 มีข้อดีคือมีช่วงความต้านทานที่กว้าง สัญญาณรบกวนต่ำ ความสามารถในการต่อต้านการลดที่แข็งแกร่ง ความต้านทานต่อโหลดกำลังสูง และความเสถียรในการจัดเก็บในระยะยาวที่ดี
ดังนั้นการวางตัวต้านทานแบบฟิล์มหนา Ru02 จึงมีสัดส่วนขนาดใหญ่ในตัวต้านทานชิปและวงจรรวมแบบฟิล์มหนา