CMP lo Silicon Dioxide Nanoparticle Nano SiO2 fun didan ẹrọ ti kemikali
CMP lo Silicon Dioxide Nanoparticle Nano SiO2 fun didan ẹrọ ti kemikali
Ni pato:
| Oruko | Ohun alumọni Dioxide / Silica / Silikoni ohun elo afẹfẹ Nanopowders |
| Fọọmu | SiO2 |
| Iru | Hydrophobic, hydrophilic |
| Patiku Iwon | 20nm |
| Mimo | 99.8% |
| Ifarahan | Iyẹfun funfun |
| Package | 20kg / 30kg fun apo / agba |
| Awọn ohun elo ti o pọju | Omi-imudaniloju bo, didan, roba, seramiki, nja, kun, mimọ ara ẹni, antibacterial, ayase, binder, lubricity, bbl |
Apejuwe:
Kini idi ti silicon dioxide nano lulú le ṣee lo fun CMP?
Nano-silica ni o ni jo kekere iye owo, andgood dispersibility, darí abrasion, ga agbara ati adhesion, ti o dara fiimu Ibiyi, ga permeability, ga oju ojo ati wọ resistance, kekere patiku iwọn, líle.O tun ni awọn anfani ti iwọntunwọnsi, iki kekere, adhesion kekere, ati mimọ irọrun lẹhin didan.Nitorinaa o jẹ ohun elo didan fun imọ-ẹrọ CMP pẹlu iṣẹ ṣiṣe to dara julọ.
SiO2 nano patiku nigbagbogbo lo fun didan ti irin, oniyebiye, ohun alumọni monocrystalline, awọn ohun elo gilasi, tube itọsọna ina ati awọn aaye miiran.Iwọn ohun elo afẹfẹ silikoni nano wa ni isalẹ 100nm, eyiti o ni agbegbe dada nla kan pato, dispersibility giga ati permeability, nitorinaa Layer bibajẹ lori dada ti didan workpiece jẹ lalailopinpin kekere;ni afikun, awọn líle ti silica nanoparticle jẹ iru si ti ohun alumọni wafers.Nitorinaa, o tun lo nigbagbogbo fun didan awọn ohun alumọni ohun alumọni semikondokito.
Awọn anfani ti nano SiO2 lulú ni ohun elo CMP:
1. Polishing ni lilo awọn ẹwẹ titobi aṣọ ti SiO2 ati awọn ohun elo miiran, eyi ti kii yoo fa ipalara ti ara si awọn ẹya ti a ṣe ilana, ati pe iyara naa yara.Lilo awọn patikulu gẹgẹbi colloidal silica pẹlu aṣọ aṣọ ati iwọn patiku nla le ṣe aṣeyọri idi ti didan iyara-giga.
2. Ko ṣe awọn ohun elo baje ati pe o ni iṣẹ ailewu giga.
3. Se aseyori ga flatness lilọ processing.
4. Ni imunadoko dinku awọn ifaworanhan dada lẹhin didan ati ki o dinku igbẹ oju-ilẹ lẹhin didan.
Ipò Ìpamọ́:
Silicon dioxide (SiO2) nanopowders yẹ ki o wa ni ipamọ ni edidi, yago fun ina, ibi gbigbẹ.Ibi ipamọ otutu yara jẹ dara.
SEM:
Apo FYI:
